Лабораторные расходомеры с металлическими уплотнениями EL-FLOW Metal-Sealed

Добавить в избранное

Регулятор F-201CM с цифровым интерфейсом DeviceNetTM

Измеритель F-111CM с цифровым интерфейсом DeviceNetTM

Для заказа нужно ответить на несколько вопросов
Оперативный ответ можно получить в онлайн-чате или по телефону
Заказать Быстрый заказ

Лабораторные расходомеры EL-FLOW Metal-Sealed для подачи сверхчистых газов

Приборы этой серии работают в диапазоне расходов:
от мин. 0,12...6 н.мл/мин до макс. 1...50 н.л/мин, с точностью 0,5% от показаний. Расходомеры имеют лабораторное исполнение с классом пыле- и влагозащиты IP40. Приборы имеют уплотнение «металл по металлу» и с успехом применяются в полупроводниковой промышленности.

Расходомеры внесены в Государственный реестр СИ

6470016

Особенности

  • Высокая точность (стандартно 0,5% от показаний плюс 0,1% от полной шкалы)
  • Патентованные уплотнения «металл-по-металлу» (без уплотнительных колец) обеспечивают внешнюю герметичность в течении долгого времени
  • Электрохимическая полировка всех поверхностей
  • Собраны в чистой комнате
  • Возможность изменять диапазон расхода и вид газа
  • Аналоговый и цифровой RS-232 выходы; цифровые шины DeviceNet™, Profibus-DP®, Modbus, EtherCAT® или FLOW-BUS
  • Стабильный ноль
  • Высокая точность и повторяемость
  • Прибор внесен в государственный реестр средств измерения
Измерительная/регулирующая часть 
Точность (вкл. линейность) ± 0,5% от показаний плюс ± 0,1% от полной шкалы
Диапазон 1:50 (в цифровом режиме до 1:150)
Повторяемость < 0,2% от показаний
Время успокоения
(для регулятора) 
1…2 с до 5% от полной шкалы
опция: до 500 мс 
Стабильность регулирования < ± 0,05% от полной шкалы (для расхода 1 н.л./мин. N2)
Максимальное рабочее давление измеритель: 100 бар (и);
регулятор: 70 бар (и)
Чувствительность к температуре нулевая точка: <± 0,05% от полной шкалы/°С
диапазон: <±0,05% от показаний/°С
Чувствительность к давлению 0,1%/бар для N2; 0,01%/бар для Н2
Время прогрева 30 мин. для оптимальной точности 
2 мин. для точности не хуже 2% от полной шкалы
 Основные характеристики   
Диапазон рабочих температур -10...+50°С
до +70°С по запросу
Герметичность (внешн.) < 2x10-11 Па.м3/с (He)
Герметичность (через закрытый клапан) < 10-5 Па.м3/с (He)
Чувствительность к положению монтируется в любом положении
  Механические параметры
Материал конструкции Нержавеющая сталь AISI 316L или аналогичные материалы
Соединения с трубопроводом 1/4" торцевого типа (внешняя резьба)
Внешние уплотнения металл-по-металлу (без уплотнительных колец)
Седло клапана (для регулятора)  Viton; опционально: EPDM, FFKM (Kalrez)
Защита корпуса IP40
 Электрические параметры
Напряжение питания +15...24 В
Потребляемый ток измеритель: 70мА;
регулятор: макс. 320 мА;
добавить 50 мА для Profibus если установлен
Входной/Выходной сигналы 0…5 (10) В, 0(4)…20мА (активн.)
Цифровая шина стандартно: RS232
дополнительно: PROFIBUS DP, DeviceNet™, Modbus-RTU/ASCII, FLOW-BUS, EtherCAT®
   
Электрические соединения Аналоговый/RS232  9-ти пиновый разъем sub-D (папа)
PROFIBUS DP данные: 9-ти пиновый разъем sub-D (мама) ;
питание: 9-ти пиновый разъем sub-D (папа)
DeviceNetTM 5-ти пиновый M12 (папа)
EtherCAT® 2x RJ45 (вх./вых.)
Modbus-RTU/FLOW-BUS RJ45

Техническая спецификация может быть изменена производителем без предварительного уведомления

Расходомеры
(возможен выбор любых промежуточных диапазонов)

Модель Диапазоны расхода (по воздуху)
минимальный максимальный
F-111CM 0,12…6 н.мл/мин 1...50 н.л/мин

Регуляторы расхода
(возможен выбор любых промежуточных диапазонов)

Модель

Диапазоны расхода (по воздуху)

минимальный

максимальный

F-201CM

0,12…6 н.мл/мин

1...50 н.л/мин

Цены на серию расходомеров/регуляторов «Лабораторные с металлическими уплотнениями EL-FLOW Metal-Sealed»

 

Расходомеры

Модель

Цена

F-111CM

от 1730 €

Примечание: указанные цены являются ориентировочными. Все приборы изготавливаются на заказ. Окончательная стоимость измерителя расхода зависит от диапазона, типа уплотнения и соединений, наличия дополнительной интерфейсной платы и других опций. Для получения точной стоимости прибора для вашей задачи вы можете заполнить опросный лист у нас на сайте, нажав кнопку «Заказать».

 

Регуляторы расхода

Модель

Цена

F-201CM

от 2120 €

Примечание: указанные цены являются ориентировочными. Все приборы изготавливаются на заказ. Окончательная стоимость регулятора расхода зависит от диапазона, типа уплотнения, клапана и соединений, наличия дополнительной интерфейсной платы и других опций. Для получения точной стоимости прибора для вашей задачи вы можете заполнить опросный лист у нас на сайте, нажав кнопку «Заказать».

В цену включены все налоги, включая НДС, расходы на поставку, инструктаж (консультации) персонала заказчика, расходы по таможенному оформлению, стоимость тары и упаковки, иных обязательных платежей в соответствии с действующим законодательством Российской Федерации.