info@massflow.ru
sales@massflow.ru
Расходомеры газа с высоким быстродействием S300
Расходомеры и регуляторы расхода серии Xinnovis S300 предназначены для точного контроля потоков газа в составе лабораторных и промышленных установок. Прибор построен на основе инновационного МЭМС-сенсора, который обеспечивает высокое быстродействие, долговременную стабильность и воспроизводимость. На аппаратном уровне реализована температурная компенсация показаний. Встроенный электромагнитный клапан обеспечивает как высокую скорость регулирования, так и чрезвычайную стабильность поддержания расхода. Приборы выпускаются либо со стандартными уплотнениями из эластомера, либо с уплотнением «металл-по-металлу». В последнем случае приборы обеспечивают намного более высокую герметичность и могут эксплуатироваться со сверхчистыми газами.
Особенности
- Высокая точность (1% от измеренного значения)
- Автоматическая коррекция показаний по фактической температуре газа
- Долгосрочная стабильность
- Быстрое время отклика (до 100 мс)
- Предназначены для работы с чистыми, сухими газами
- Цифровой интерфейс (RS485 Modbus RTU или EtherCAT)
- Различные встроенные функции сигнализатора и счетчика
- Настраиваемые пользователем параметры регулирования
- Стабильное поддержание расхода
- Специализированное программное обеспечение «SmartFlow» для управления работой расходомера через ПК
Преимущества
- Инновационный МЭМС-сенсор с автоматической температурной коррекцией
- Высокая точность измерения
- Высокое быстродействие
- Уплотнения «металл-по-металлу», работа со сверхчистыми газами
- Встроенная система индикации
- Удобное программное обеспечение
Применения
- Аналитическое оборудование
- Полупроводниковая промышленность
- Системы вакуумного напыления
- Научные исследования
| Измерительная часть | |||
| Минимальный диапазон расходов* | 0,2…10 н.мл/мин Воздух | ||
| Максимальный диапазон расходов* | 1…50 н.л/мин Воздух | ||
| Точность (калибровка при рабочих условиях) |
± 1% от показаний, расход > 30% ВПИ ± 0,3% от ВПИ, расход ≤ 30% ВПИ |
||
| Динамический диапазон | 50:1 (2…100% ВПИ) | ||
| Повторяемость | < 0,2% ВПИ | ||
| Время отклика |
< 0,5 сек |
||
| Рабочие температуры | 0…50°С | ||
| Рабочее давление | < 9,8 бар | ||
| Герметичность |
< 1x10-9 (мбар∙л/с) по He для уплотнений из эластомера < 1x10-11 (мбар∙л/с) по He для уплотнений «металл-по-металлу» |
||
| Время прогрева | 10 мин для оптимальной точности | ||
| Механические параметры | |||
| Материал конструкции | Нержавеющая сталь SS316L | ||
| Соединения с трубопроводом | компрессионного или торцевого типа | ||
| Уплотнения |
FKM (фторкаучук) Металл-по-металлу |
||
| Защита корпуса | IP40 | ||
| Электрические параметры | |||
| Напряжение питания |
+24 В, потребляемая мощность < 2,7 Вт шумы не более 50 мВ |
||
| Цифровой интерфейс |
RS-485, протокол Modbus RTU EtherCAT |
||
| Соединения |
5-ти контактный разъем M8 (вилка) RJ45 (розетка) |
||
* возможен выбор любых промежуточных диапазонов
Техническая спецификация может быть изменена производителем без предварительного уведомления
