Скрубберы для очистки газов

Сухие скрубберы для очистки газов CLEANSORB

представлены сериями PRIMELINE, FABLINE,LABLINE, STANDALONE. Все серии промышленных газовых скрубберов для сухой очистки доступны с разными размерами абсорбционных колонн, что позволяет подобрать модель под любую линию на промышленном предприятии или для лабораторных исследований. Промышленные скрубберы для сухой очистки газов применяются для огромного количества производственных процессов, таких как:
- Плазменное травление;
- Ионная имплантация;
- ОАС, LPCVD, PECVD, HDP-CVD;
- Эпитаксия;
- Полупроводниковые соединения, оптоэлектроника, группы III-V на кремнии;
- Изготовление фотоэлементов.