CLEANSORB

Сухие скрубберы CLEANSORB

представлены сериями PRIMELINE, FABLINE,LABLINE, STANDALONE. Все серии доступны с разными размерами абсорбционных колонн, что позволяет подобрать модель под любую линию на промышленном предприятии или для лабораторных исследований. Применяются для огромного количества производственных процессов, таких как:
-Плазменное травление
-Ионная имплантация
-ОАС, LPCVD, PECVD, HDP-CVD
-Эпитаксия
-Полупроводниковые соединения, оптоэлектроника, группы III-V на кремнии
-Изготовление фотоэлементов