Скрубберы для очистки газов

Особенности скрубберов CLEANSORB для сухой очистки газов

Сухие скрубберы для очистки газов CLEANSORB представлены сериями PRIMELINE, FABLINE,LABLINE, STANDALONE. Все серии промышленных газовых скрубберов для сухой очистки доступны с разными размерами абсорбционных колонн, что позволяет подобрать модель под любую линию на промышленном предприятии или для лабораторных исследований.

Производственные процессы, в которых применяются промышленные скрубберы:

- Плазменное травление;
- Ионная имплантация;
- ОАС, LPCVD, PECVD, HDP-CVD;
- Эпитаксия;
- Полупроводниковые соединения, оптоэлектроника, группы III-V на кремнии;
- Изготовление фотоэлементов.