info@massflow.ru
sales@massflow.ru
Компактные тепловые регуляторы расхода газа UT
Регуляторы расхода газа Xinnovis UT в качестве чувствительного элемента используют инновационный сенсор на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС). Технология МЭМС позволяет создавать компактные устройства с высоким быстродействием. Разработчики регуляторов расхода UT успешно реализовали этот потенциал МЭМС-сенсоров, обеспечив высокую степень интеграции компонентов, применив управляющий микропроцессор с высокоскоростной цифровой обработкой данных и высокотехнологичный регулирующий клапан. Получившийся цифровой прибор обеспечивает высокую точность измерения и стабильность поддержания расхода, обладает богатой функциональностью и прекрасно подходит для производителей оборудования, в особенности портативных устройств.
Особенности
- Ультракомпактное исполнение
- Высокая точность (1% от измеренного значения)
- Широкий динамический диапазон 100:1
- Долгосрочная стабильность
- Быстрое время отклика (до 100 мс)
- Предназначены для работы с чистыми, сухими, некоррозионными газами
- Цифровой интерфейс (RS485 Modbus RTU)
- Различные встроенные функции сигнализатора и счетчика
- Настраиваемые пользователем параметры регулирования
- Стабильное поддержание расхода
- Специализированное программное обеспечение «SmartFlow» для управления работой расходомера через ПК
Преимущества
- Инновационный МЭМС-сенсор
- Высокая точность измерения
- Широкий динамический диапазон 100:1
- Высокое быстродействие
- Возможность объединения нескольких приборов в промышленную сеть Modbus
- Удобное программное обеспечение
Применения
- Аналитическое оборудование
- Полупроводниковая промышленность
- Системы вакуумного напыления
- Научные исследования
| Измерительная часть | |||
| Минимальный диапазон расходов* | 0,1…10 н.мл/мин Воздух | ||
| Максимальный диапазон расходов* | 0,2…20 н.л/мин Воздух | ||
| Точность (калибровка при рабочих условиях) |
± 1% от показаний, расход > 80% ВПИ ± 0,8% от ВПИ, расход ≤ 80% ВПИ |
||
| Динамический диапазон | 100:1 (1…100% ВПИ) | ||
| Повторяемость | < 0,2% от показаний | ||
| Время отклика |
< 0,5 сек |
||
| Рабочие температуры | 0…50°С | ||
| Рабочее давление | < 9,8 бар | ||
| Герметичность | < 1x10-9 (мбар∙л/с) по He | ||
| Время прогрева | 10 мин для оптимальной точности | ||
| Механические параметры | |||
| Материал конструкции | Нержавеющая сталь SS316L | ||
| Соединения с трубопроводом | компрессионного или торцевого типа | ||
| Уплотнения |
FKM (фторкаучук) |
||
| Защита корпуса | IP40 | ||
| Электрические параметры | |||
| Напряжение питания | +24 В, до 200 мА, шум не более 50 мВ | ||
| Входной/Выходной аналоговый сигнал | Нет | ||
| Цифровой интерфейс | RS-485, протокол Modbus RTU | ||
| Соединения |
RJ45 (розетка) |
||
* возможен выбор любых промежуточных диапазонов
Техническая спецификация может быть изменена производителем без предварительного уведомления
