|
Продукция |
|
|
 |
|
|
 |
|
|
|
|
|
|
|
|
Каталитические очистители технологических газов ENTEGRIS GATEKEEPER |
|
|
|
|
| |  |
|
|
Каталитические очистители технологических газов ENTEGRIS GATEKEEPER: общее описание
|
|
Каталитические очистители технологических газов Gatekeeper являются оборудованием для очистки газов. Данные очистные агрегаты являются неподвижными аппаратами, не имеющими движущихся деталей, и предназначены для удаления загрязняющих веществ из газов методом каталитического преобразования.
Каталитические очистители технологических газов Gatekeeper могут применяться для очистки следующих газов с малыми (1…20 лст/мин; очистка в точке использования), средними (20…300 лст/мин) и высокими (300…20 000 лст/мин) расходами. |
|
Очищаемые газы |
Удаляемые примеси |
Остаточная концентрация примесей |
|
Водород
(H2, смеси H2 с инертными газами) |
O2, CO, CO2, H2O, легкие углеводороды |
< 1 ppb (частей-на-миллиард): каждой примеси
< 100 ppt (частей-на-триллион): H2O, O2 |
|
Инертные
(N2, He, Ne, Kr, Xe, Ar, галогеноводороды, легкие углеводороды) |
O2, CO, CO2, H2O, легкие углеводороды |
< 1 ppb: каждой примеси
< 100 ppt: H2O, O2 |
|
Гидридные
(NH3, AsH3, PH3, GeH4, SiH4, B2H6, Si2H6) |
O2, CO, CO2, H2O, легкие углеводороды продукты окисления |
< 1 ppb: O2, CO2, H2O, продукты окисления |
|
Атмосферные
(Воздух (CDA), инертные, O2, смеси O2/инерт, газы для продувки линз, СO2, жидкий СO2 и СO2 в сверхкритическом состоянии) |
SO2, SOx, NOx, H2S, H2O, CO2, NH3, силоксаны, углеводороды (газообразные и конденсированные), амины, пары кислот, пары щелочей, пары серы спирты |
< 1 ppb: H2S, H2O, CO2,амины, пары кислот и щелочей
< 100 ppt: NOx
< 10 ppt: NH3
< 1 ppt: легкие углеводороды, SO2 ,силоксаны |
|
Коррозийные
(HCl, CI2, HF, F2, HBr, BCl3, SiCl4, SiF4) |
H2O, CO2, легкие углеводороды |
< 100 ppb: CO2
< 1 ppb: H2O |
|
Нереактивные и плазменные
(SF6, NF3, O2, NO, N2O) |
H2O, CO2, легкие углеводороды |
< 1 ppb: каждой примеси
< 100 ppb: NF3, SF6 |
|
Карбонил
(CO) |
H2O, Ме(CO)4, легкие углеводороды |
< 1ppb: H2O, Ме(CO)4
|
Область применения
-
Стабильная подача сверхчистого газа в технологическое оборудование
-
Защита технологических процессов и оборудования от всплесков высокой концентрации примесей при работе от баллонов и газификаторов сжиженных газов
-
Очистка технологических газов от углеводородов
Особенности и преимущества очистителей Gatekeeper
Экономическая эффективность
-
Регенерируемость = низкозатратная эксплуатация
-
Использование чистых газов улучшает стабильность технологических процессов, увеличивает выход годных и продлевает время эксплуатации оборудования
-
Очиститель превращает дешевый газ средней чистоты в сверхчистый (экономия на стоимости исходного газа)
Экологичность
Технологическая защита
-
Стабильная подача сверхчистого газа
-
Защита процессов и оборудования от всплесков высокой концентрации примесей при замене баллонов
-
Очистка технологических газов от углеводородов
-
Малое падение давления на очистителе
-
Сертифицировано CE в соответствии с Директивой ЕС о напорном оборудовании (PED) и произведено в соответствии с ISO 9001:2000
-
Техническая и сервисная поддержка
Безопасность и простота в использовании
Регенерация очистителей Gatekeeper
Регенерация отработавшего (насыщенного) очистителя позволяет удалить из матрицы все связанные примеси. После регенерации производителем очиститель приобретает свои первоначальные свойства, включая очищающую способность, срок службы и гарантию производителя.
Подробнее о регенерации очистителей см. Технические характеристики
Каталитические очистители технологических газов ENTEGRIS GATEKEEPER: технические характеристики
Функциональные возможности
|
Макс. перепад давления:
|
1379 кПа (200 PSID)
|
|
Мин. рабочее давление:
|
101 кПа (14.7 PSIA)
|
|
Скорость утечки:
|
для 30KF до 10MH
|
не более 1*10-9 атм*см3/с
|
|
45M
|
не более 1*10-3 атм*см3/с
|
|
200M
|
не более 4*10-9 атм*см3/с
|
|
Макс. концентрация примесей во входном газе, допустимая для достижения заявленной чистоты очищенного газа:
|
10 ppm (частей-на-миллион)
|
|
Срок службы (до регенерации):
|
Один год при номинальном расходе и концентрации примесей во входном газе 1 ppm
|
|
Макс. рабочая температура:
|
65oC(45oF)
|
|
Модель
|
Макс. расход (лст/мин)
|
Ном. расход (лст/мин)
|
Макс. рабочее давление (только для очистителя)1
|
Максимальное рабочее давление (для очистителя с опциями)2
|
Падение давления3
|
|
35KF
|
1
|
0.5
|
19995 кПа (2900 PSIG)
|
|
3.4 кПа (0.5 PSID)
|
|
70KF
|
3
|
1
|
|
|
|
|
100KF
|
20
|
2
|
|
|
|
|
300KF
|
50
|
7
|
|
1724 кПа (250 PSIG)
|
|
|
500KF
|
60
|
12
|
|
|
|
|
500KFHP
|
60
|
12
|
|
|
|
|
2500KH
|
300
|
60
|
|
1724 кПа (250 PSIG)
|
|
|
5000K
|
500
|
130
|
|
|
|
|
10MH
|
1000
|
220
|
1724 кПа (250 PSIG)
|
|
1/2''-62 кПа (9 PSID)
3/4''-36.5 кПа (5.3 PSID)
|
|
45M *
|
5000
|
1100
|
|
|
|
|
200M *
|
20000
|
3500
|
|
|
|
|
Очистители Waferpure
|
|
30KF
(Micro)
|
1
|
0.5
|
|
|
|
|
75KF
(Mini-XL)
|
5
|
1
|
|
1724 кПа (250 PSIG)
|
|
|
300KF
(Megaline)
|
50
|
7
|
|
1724 кПа (250 PSIG)
|
|
|
1Не использовать при разрежении. Минимальное рабочее давление 1 атм (14.7 PSIA).
2Давление ограничено стандартной арматурой. По применению при больших давлениях, пожалуйста, проконсультируйтесь с местным представителем компании.
3Падение давления при максимальном расходе и давлении на входе 90 PSIG (620 кПа).
*Очиститель модели 45M поставляется только для водорода и инертных газов, модели 200M – только для инертных газов.
|
Регенерация очистителей Gatekeeper
Регенерация отработавшего (насыщенного) очистителя позволяет удалить из матрицы все связанные примеси. После регенерации производителем очиститель приобретает свои первоначальные свойства, включая очищающую способность, срок службы и гарантию производителя.
Безопасность и эффективность регенерации зависит от точной информации обо всех рабочих и продувочных газах, которые проходили через очиститель.
Очистители, использовавшиеся для очистки воздуха (CDA), азота и других химически-инертных газов не нуждаются в продувке перед регенерацией.
Очистители, которые использовались для очистки любых других газов, должны быть должным образом подготовлены перед отправкой на регенерацию.
Перед отправкой на регенерацию очиститель необходимо продуть инертным газом с расходом не менее 20% от максимального расхода в течении, как минимум, 14 часов.
Конструктивное исполнение
|
Конструкционные материалы:
|
нержавеющая сталь 316L с электрохимической полировкой поверхности (10 Ra), за исключением модели 45M (Cr-Mo сталь, SA 372, Grade F, Class 70)
|
|
Рабочая среда:
|
никель/оксид
|
|
Модель
|
Соединение с
трубопроводом
|
Конфигурация
(вход/выход)
|
Вес
|
Длина
A
|
Диаметр
B
|
Расположение
входа/выхода
С
|
|
35KF
|
1/4'' торцевое
|
штуцер/штуцер
|
0.3 кг
|
84 мм (3.31'')
|
|
центрирован
|
|
70KF
|
|
штуцер/штуцер
|
|
114 мм (4.5'')
|
|
|
|
100KF
|
|
штуцер/штуцер
|
|
84 мм (3.31'')
|
|
смещен на 11.2 мм
(0.44'') от оси
|
|
300KF
|
|
штуцер/штуцер
|
|
208 мм (8.2'')
|
|
|
|
500KF
|
|
штуцер/штуцер
|
|
202 мм (7.94'')
|
|
|
|
500KFHP
|
1/4'' торцевое
|
штуцер/штуцер
|
|
254 мм (10'')
|
|
|
|
2500KH
|
|
штуцер/штуцер
|
|
439 мм (17.3'')
447 мм (17.6'')
|
|
|
|
5000K
|
|
гайка/штуцер
|
|
1158 мм (45.6'')
|
|
|
|
10MH
|
|
|
27 кг
41 кг
|
974 мм (38.36'')
1433 мм (56.4'')
|
|
|
|
45M
|
1/2'' NPT
|
внутр. резьба
|
360 кг
|
1473 мм (58'')
|
|
|
|
200M
|
2'' приварное
|
-
|
454 кг
|
1659 мм (63.3'')4
|
|
81.8 см (32.2'')6
|
|
Очитители Waferpure
|
|
30KF
(Micro)
|
1/4'' торцевое
|
штуцер/штуцер
|
|
84 мм (3.31'')
|
|
смещен на 0.97 мм
(0.38'') от оси
|
|
75KF
(MiniXL)
|
1/4'' торцевое
|
штуцер/штуцер
|
|
127 мм (5'')
|
|
смещен на 0.97 мм
(0.38'') от оси
|
|
300KF
(Megaline)
|
1/4'' торцевое
|
штуцер/штуцер
|
|
208 мм (8.2'')
|
|
|
|
4 Высота5 Глубина6 Ширина
|
Опции
|
Модель
|
Отсечные
вентили
|
Коллектор
GS 300
|
3-х
вентильный
байпасный
коллектор
|
5-ти
вентильный
байпасный
коллектор
|
|
8-ми
вентильный
коллектор
|
Индикатор
влажности9
|
|
35KF
|
Да
|
|
|
Да
|
|
|
|
|
70KF
|
|
|
|
Да
|
|
|
Да
|
|
100KF
|
|
|
|
|
|
|
|
|
300KF
|
|
|
|
|
|
|
|
|
500KF
|
|
|
|
|
|
|
|
|
500KFHP
|
|
|
|
|
|
|
Да
|
|
2500KH
|
Да
|
|
|
|
|
|
|
|
5000K
|
включено
|
|
|
|
|
|
Да
|
|
10MH
|
|
|
|
|
|
|
|
|
45M
|
|
|
|
|
|
|
|
|
200M
|
включено
|
|
|
|
|
|
|
|
30KF
(Micro)
|
Да
|
|
Да
|
|
|
|
Да
|
|
75KF
(Mini-XL)
|
Да
|
|
Да
|
|
|
|
Да
|
|
300KF
(Megaline)
|
|
|
|
|
|
|
|
|
9 Внешний для моделей 30KF - 700KF
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
