|
Продукция |
|
|
 |
|
|
 |
|
|
|
|
|
|
|
 |
Авторегенерируемые каталитические очистители технологических газов ENTEGRIS AERONEX |
 |
|
 |
|
| |  |
|
|
Каталитические авторегенерируемые очистители технологических газов ENTEGRIS AERONEX: общее описание
 |
Каталитические авторегенерируемые очистители технологических газов Aeronex являются оборудованием для очистки газов. Данные очистные агрегаты являются неподвижными аппаратами, не имеющими движущихся деталей, и предназначены для удаления загрязняющих веществ из газов методом каталитического преобразования.
Каталитические авторегенерируемые очистители технологических газов Aeronex обеспечивают непрерывную подачу газа к потребителю, автоматически регенерируются без прекращения очистки газа и могут применяться для очистки следующих газов с максимальным расходом от 120 лст/мин до 20000 лст/мин. |
|
Очищаемые газы* |
Удаляемые примеси |
Остаточная концентрация примесей |
|
Водород
(H2, смеси H2 с инертными газами) |
O2, CO, CO2, H2O, легкие углеводороды |
< 1 ppb (частей-на-миллиард): каждой примеси
< 100 ppt (частей-на-триллион): H2O, O2 |
|
Инертные
(N2, He, Ne, Kr, Xe, Ar) |
O2, CO, CO2, H2O, легкие углеводороды |
< 1 ppb: каждой примеси
< 100 ppt: H2O, O2 |
|
Гидридные
(NH3) |
O2, CO, CO2, H2O, легкие углеводороды, продукты окисления |
< 1 ppb: каждой примеси |
|
Атмосферные
(Воздух (CDA)) |
SO2, SOx, NOx, H2S, H2O, CO2, NH3, силоксаны, углеводороды (газообразные и конденсированные), амины, пары кислот, пары щелочей, пары серы, спирты |
< 1 ppb: каждой примеси |
Особенности и преимущества
|
Технологическая защита
-
Непрерывная подача сверхчистого газа
-
Защита процессоров и оборудования от всплесков высокой концентрации примесей при замене баллонов
-
Аварийное отключение электропитания не приводит к выходу из строя очистителя и прекращению подачи чистого газа
-
Полностью автоматический алгоритм работы не требующий надзора или вмешательства оператора
-
Очистка газов до уровней суб-ppb и ppt
-
Малое падение давления на очистителе
-
Сертифицировано CE и SEMI S2
-
Техническая и сервисная поддержка на территории России
|

Экологичность
Безопасность и простота в использовании
-
Высокотехнологичная система управления существенно упрощает процедуру запуска и интеграции очистителя в производственный процесс
-
Система очистки спроектирована с учетом возможности модернизации и ремонта "на месте"
-
Легкость в установке
-
Нет движущихся частей

|
|
Экономическая эффективность
-
Авторегенерируемость = низкозатратная эксплуатация
-
Очистка при комнатной температуре = низкое энергопотребление
-
Использование чистых газов улучшает стабильность технологических процессов, увеличивает выход годных и продлевает время эксплуатации оборудования
-
Очиститель превращает дешевый газ средней чистоты в сверхчистый (экономия на стоимости исходного газа)
|
Газовая схема системы ENTEGRIS AERONEX

Каталитические авторегенерируемые очистители технологических газов ENTEGRIS AERONEX: технические характеристики
Серийно производимые модели
|
Модель
|
Описание
|
|
PGPS4
|
Безкорпусная настенная система. Максимальный расход 120 лст/мин
|
|
|
Корпусная настенная система. Максимальный расход 120 лст/мин
|
|
|
Корпусная напольная система. Максимальный расход 500 лст/мин
|
|
|
Корпусная напольная система. Максимальный расход 1000 лст/мин
|
|
|
Корпусная напольная система. Максимальный расход 5000 лст/мин
|
|
|
Корпусная напольная система. Максимальный расход 10000 лст/мин
|
|
|
Корпусная напольная система. Максимальный расход 15000 лст/мин
|
|
|
Корпусная напольная система. Максимальный расход 20000 лст/мин
|
Функциональные возможности
|
Модель
|
PGPS4
|
EGPS4
|
EGPS8
|
EGPS12
|
AGPS2E
|
AGPS2F
|
AGPS2G
|
AGPS2H
|
|
Рабочее давление
|
515...1825 кПа
|
1136 кПа
|
650-1140 кПа
|
|
Падение давления при макс. расходе
|
69 кПа при вх. давлении 830 кПа (и)
|
117 кПа при Рвх. 620 кПа
|
103 кПа при вх. давлении 600 кПа (и)
|
|
Макс. расход, лст/мин
|
120
|
500
|
1000
|
5000
|
10000
|
15000
|
20000
|
|
Мин. расход на регенерацию, лст/мин
|
5 (N2) + 5 (H2)
|
30 (N2) + 7 (H2)
|
60 (N2) + 15 (H2)
|
125
|
250
|
375
|
500
|
|
Рабочая температура
|
-40оС...+60оС
|
+15оС...+40оС
|
|
Скорость утечки
|
1*10-9 атм*см3/с
|
Конструктивное исполнение
|
Конструкционные материалы:
|
нержавеющая сталь 316L с электрохимической полировкой поверхности (10 Ra)
|
|
Рабочая среда:
|
никель/оксид
|
|
Модель
|
PGPS4
|
EGPS4
|
EGPS8
|
EGPS12
|
AGPS2E
|
AGPS2F
|
AGPS2G
|
AGPS2H
|
|
Соединение с входным трубопроводом
|
1/4''
торцевое
|
1/4''
сварное
|
1/2''
сварное
|
3/4''
сварное
|
1 1/2'' сварное
|
2'' сварное
|
|
Соединение с выходным трубопроводом
|
1/4''
торцевое
|
1/4''
сварное
|
1/2''
сварное
|
3/4''
сварное
|
1 1/2'' сварное
|
2'' сварное
|
|
Соединение с вытяжной вентиляцией
|
нет
|
вентканал круглого сечения, диаметр 4''
|
|
Производительность вытяжной вентиляции
|
нет
|
85 м3/ч
|
170 м3/ч
|
110 м3/ч
|
встроенный вентилятор, требуется отдельный вход питания 230 В (50 Гц), 115 Вт
|
|
Напряжение питания
|
однофазное, 200...240 В, 50 Гц
|
|
Потребляемая мощность в режиме очистки
|
50Вт
|
150Вт
|
300Вт
|
450Вт
|
600Вт
|
|
Потребляемая мощность в режиме регенерации
|
300Вт
|
800Вт
|
1кВт
|
2кВт
|
4кВт
|
6кВт
|
8кВт
|
|
Максимальная частота регенерации
|
3 дня (устанавливается пользователем)
|
|
Время регенерации
|
48ч
|
24ч
|
|
Давление в сбросном трубопроводе
|
атмосферное
|
|
Соединение со сбросным трубопроводом
|
1/4'' сварное
|
1/4'' торцевое
|
|
Газ на пневматику
|
очищенный воздух или азот с давлением 653...791 кПа
|
|
Соединение с пневматическим трубопроводом
|
1/4'' обжимное
|
|
Положение монтажа
|
настенное
|
напольное
|
|
Габаритные размеры,
мм
|
ширина
высота
глубина
|
381
711
279
|
457
813
305
|
472
1497
379
|
622
1831
454
|
1171
1943
958
|
размеры зависят от расположения модулей см. чертежи
|
2342
1943
1916
|
|
Вес
|
32 кг
|
39кг
|
113 кг
|
205 кг
|
680 кг
|
1361 кг
|
2041 кг
|
2722 кг
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|