Ультракомпактные расходомеры и регуляторы IQ+FLOW с MEMS сенсором: общее описание

Ультракомпактный расходомер/регулятор расхода газа (РРГ) IQ+FLOW с MEMS сенсором

Производители оборудования постоянно заняты поиском компактных решений для измерения и регулирования расхода газов и давления в своих системах. Ранее, для этих задач, компанией Bronkhorst High-Tech была выпущена серия измерителей и регуляторов расхода и давления с типоразмером 1,5", что удовлетворяло требованиям для NeSSI^TM систем. В настоящий момент в тесном сотрудничестве с TNO-TPD (ведущим голландским институтом прикладной физики) был разработан датчик массового расхода IQ⁺FLOW. Благодаря использованию микроэлектромеханической технологии (MEMS), удалось уменьшить типоразмер приборов в два раза до 0,75" и получить ультракомпактные регуляторы массового расхода и давления.

Bronkhorst High-Tech тесно сотрудничает с производителями различных типов оборудования в плане оптимизации возможностей встраивания приборов в выпускаемое ими оборудование. Результатом такого сотрудничества является создание утракомпактных многофункциональных пользовательских систем.
Концепция IQ⁺FLOW позволяет использовать следующие функциональные модули с типоразмером 0,75":

Расходомер; типичный диапазон расходов от 0,2 до 5000 н.мл/мин (полная шкала)
Измеритель давления; типичный диапазон давления от 0,02 до 10 атм.
Регулирующий клапан: электромагнитный отсечной клапан, трехходовой клапан
Пневматический отсечной клапан
Фильтр
Игольчатый клапан

Любая комбинация этих модулей может быть смонтирована на компактный манифолд, в соответствии с пожеланиями заказчика и обсужденным дизайном. Кроме того, заказчик может выбрать материал манифолда (алюминий или нержавеющую сталь) и типы входных/выходных коннекторов для ввода газов или жидкостей. В связи с огромным количеством возможных решений, мы настоятельно рекомендуем связаться со специалистами нашей компании для обсуждения дизайна необходимого Вам модуля.

Особенности

Высокая стабильность нуля, благодаря термосбалансированному чип-сенсору
Компактные решения
Привлекательная стоимость
Минимизация соединений (уменьшение мест возможных утечек)
Навесной монтаж
Предварительно тестированные plug-and-play модули
Аналоговый и цифровой интерфейсы

Применения (в аналитическом оборудовании)

Регулирование расхода и давления в инжекторе (газовая хроматография)
Регулирование расхода в детекторе (газовая хроматография и жидкостная хроматография высокого давления)
Регулирование расхода в пламенно-ионизационном детекторе

Как правильно выбрать прибор и узнать его стоимость?

См. также:

Ультракомпактные расходомеры и регуляторы IQ+FLOW с MEMS сенсором: техническое описание

Габаритные размеры

Габаритные размеры ультракомпактных приборов IQ+FLOW с MEMS сенсором

Размеры приведены в мм.

Технические характеристики

Эксплуатационные характеристики
Точность расходомера (при калибровке в реальных условиях)	стандартно: ±0,8% от показаний плюс ±0,2% от полной шкалы
Точность измерителя давления	лучше, чем ±0,5% от полной шкалы
Повторяемость	< 0,2 % от полной шкалы
Время успокоения (регулятор)	до 200 мс
Чувствительность к температуре	0,1%/°С от полной шкалы
Чувствительность к монтажу	пренебрежимо мала
Механические параметры
Материал конструкций, контактирующих со средой	Алюминий, Si, SiOx, эпоксидный компаунд; опция: корпус нержавеющей стали
Соединения	10-32 UNF с внутренней резьбой с кольцом 1/16" (SS316 или Peek);1/16'' или 1/8'' компрессионного типа;
Уплотнения	Витон, другие по запросу
Вес	примерно 0,2 кг
Электрические параметры
Время опроса	15 мс
Разрешение АЦП датчика	15 бит (0,003% от полной шкалы)
Напряжение питания	+15…24В, 50мА для измерителя; добавить 50мА на регулирующий клапан
Аналоговые сигналы	1 канал: 0...5(10) В или 0(4)...20 мА (источник) и RS232 многоканальный: RS232 или RS485
Цифровая шина	стандартно: RS232, другие по запросу
Электрический разъем	RJ45 модульный разъем
Защита корпуса	IP40
Рабочие условия
Диапазоны расходов (по воздуху); промежуточные диапазоны возможны	мин: 0,2...10 н.мл/мин / макс: 0,1...5 н.л/мин (до 8-ми калибровочных кривых)
Дипазоны давлений	мин. 0,02...1 / макс. 0,2...10 атм.
Среда	сухие, чистые газы, невзрывоопасные и некоррозионные газы
Рабочая температура	5...50^oС
Максимальное рабочее давление	10 атм.
Падение давления на измерителе расхода	20 мбар (дифф.) при расходе 1 н.л/мин (воздух)
Положение монтажа	любое

[1] - [2] - [3]

Ультракомпактные расходомеры и регуляторы IQ+FLOW с MEMS сенсором: общее описание

Ультракомпактные расходомеры и регуляторы IQ+FLOW с MEMS сенсором: техническое описание

Документация

Инструкции по эксплуатации и схемы подключения:

Производитель: Bronkhorst High-Tech